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切片怎么做出来,又怎么测出来

公司建立覆盖原材料、过程控制与成品检验的全流程质量管理体系,确保每一批次产品可追溯、可验证。

Multi-wire slicing principle: diamond wire between grooved rollers, workpiece, coolant inlet and kerf
图 01 — 线网、冷却路径与锯缝
A

金刚石线

线径与磨粒粒度决定锯缝宽度,也决定后续研磨要去掉的损伤层厚度。这两项按材料选,不图库存方便。

B

冷却与排屑

流量、过滤与温度负责把热量带出锯缝。过滤不到位,表现为晶片表面损伤,而不是仪表上的冷却液报警。

C

装夹与对位

晶锭怎么固定、怎么对位,决定 X 射线衍射测出来的偏离角能不能保留到成品片。

过程控制

决定规格的四件事

01

切前定晶向

切片前 X 射线晶向确认、批量厚度一致性控制、冷却清洗与洁净管理、包装前逐片测量,四道环节层层把关,杜绝缺陷流入下游客户产线。

02

批量内的厚度一致

进给与线张力在整刀过程中保持,厚度不会从第一片漂到最后一片。我们报的 ±3 μm 是批量值,不是最好那一片的值。

03

冷却与清洗

过滤、温度,以及研磨后的清洗。表面残留会在客户的外延工序变成镀膜缺陷——那时它早已离开我们的厂区。

04

包装前测量

厚度、TTV、平整度、粗糙度,光学级再加透过率,逐片测量并记入批号。

工序链

九道受控工序

长晶、切头尾、外圆研磨、晶向检测、多线切片、研磨、倒角、抛光、检测包装,每道工序均明确责任人并留存质量记录,实现全流程可追溯。

锯缝与损伤层在这一道定型
金刚线切割
锯缝与损伤层在这一道定型
确认 C 面或 <100> 面
X 射线定向
确认 C 面或 <100> 面
外径与参考边
外形磨面
外径与参考边
轮廓按图
轮廓加工
轮廓按图
非圆件与台阶
异形精雕
非圆件与台阶
便于搬运的边缘轮廓
倒角 / 开槽
便于搬运的边缘轮廓
去除损伤层
研磨
去除损伤层
厚度收进范围
精磨
厚度收进范围
粗糙度与透过率
精密抛光
粗糙度与透过率
测什么,用什么测
项目方法典型值
厚度接触式千分尺,5 点±3 μm(蓝宝石)
TTV / 弯曲 / 翘曲电容式或光学平整度仪按下单约定
平整度平晶 / 干涉仪≤ 0.02 mm(陶瓷)
表面粗糙度轮廓仪,Ra抛光 ≤ 0.3 μm
晶向X 射线衍射±2°(蓝宝石 C 面)
透过率分光光度计> 70 % @ 355 与 1064 nm
外观受控光源下全检崩边、划伤、污渍
检测

先测,再包

配备接触式千分尺、电容式 / 光学平整度仪、平晶干涉仪、轮廓仪、X 射线衍射仪、分光光度计等专业设备,可实现厚度、TTV、平整度、表面粗糙度、晶向、透过率及外观全项检验,逐片检测、数据随批存档。

  • 逐片检验,不是只抽第一片
  • 记录按批号留存
  • 随货附数据单
咨询检验项目
研发方向

下一步做什么

公司研发紧跟客户需求与行业趋势,重点聚焦薄片化切割工艺、8 英寸碳化硅缺陷与翘曲控制、大尺寸蓝宝石 PSS 方片等方向,持续提升工艺能力与产品良率。

  • 更薄的切片,更紧的厚度一致性
  • 8 英寸碳化硅:缺陷密度与弯曲控制
  • 更大尺寸蓝宝石方片,用于 PSS 图形化
  • 试切片是常规服务,不是人情
谈一种材料
用数据说话,不用承诺
你会拿到怎么测
厚度一致性μm,整批
平整度 / TTVμm,逐片
表面粗糙度Ra
晶向度,X 射线
透过率%,约定波长
外观缺陷片/个
资质

有审核、有认证、有记录

力凯科技持有国家专精特新“小巨人”企业、国家高新技术企业、山东省数字经济“晨星工厂”等资质,并通过 ISO 9001 质量管理体系、ISO 14001 环境管理体系、ISO 45001 职业健康安全管理体系及GB/T 29490 知识产权管理体系认证。

国家专精特新“小巨人”企业
国家高新技术企业
山东省数字经济“晨星工厂”

ISO 9001 · ISO 14001 · ISO 45001 · GB/T 29490 · 国家高新技术企业

要数据,不要宣传册。

请提供图纸与检验标准;我们回复批量生产能稳定做到的数值,以及做不到的部分。