偏离角公差决定外延良率

外延从衬底表面开始生长。C 面偏离一旦超差，长出的外延层整片受力不一致，波长或缺陷密度就会偏移。

所以晶向要在切片前测，而不是抛光后测：研磨完才发现偏离角错了，说明整根晶锭切错了面，只能报废，不能返工。

测量手段并不稀奇：对参考面做 X 射线衍射，并且把参考边在同一次装夹中切出来，客户才能用和我们一样的方式给晶圆定向。

公差买的是可重复性：一批里每片都从同一晶面开始外延，调好一次的工艺就能一直有效。