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蓝宝石 · 碳化硅 · 中国烟台

专注半导体材料精密切片,为高端制造提供可靠衬底。

公司专业从事蓝宝石、碳化硅、单晶硅、石英玻璃、氧化铝陶瓷等半导体材料的精密切片与晶圆加工,集长晶、切片、研磨、抛光、检测于一体,产品逐片检验、合格出厂,为全球客户提供高精度、高可靠性的衬底与晶圆产品。

0 英寸
蓝宝石晶锭加工能力
±2°
C 面晶向偏离公差
0 mm
方片加工能力
>5N
蓝宝石纯度(99.999%)
产品系列

五大材料体系,全流程自有产线

产品覆盖蓝宝石、碳化硅、单晶硅、石英玻璃、氧化铝陶瓷五大类,从晶体生长、精密切片、研磨抛光到检测包装全流程在同一厂区完成,实现从材料到成品的闭环质量控制。

全部规格

定制切片加工

除标准产品外,公司承接砷化镓、氮化镓、玻璃、压电陶瓷及异形件的定制切片,客户提供图纸与目标公差即可评估,特殊材料可先试切确认再批量生产。

发送图纸
从晶体到成品片,共九道工序

九道工序层层把控,铸就片片精品

依托金刚线多线切割等核心工艺,产品历经长晶、切头尾、外圆磨加工、晶向检测、多线切片、边缘倒角、双面研磨、化学机械抛光(CMP)、检测包装九道受控工序;每道工序关键参数逐批记录、数据随批号存档,确保厚度一致性、TTV、平整度与表面质量稳定可靠。

质量管控
01

长晶

蓝宝石采用泡生法(KY)、碳化硅采用物理气相传输(PVT)法、单晶硅采用直拉法(CZ)生长;位错密度与晶格完整性等晶体本征质量在此阶段即被确定。本工艺路线以蓝宝石、碳化硅、单晶硅晶锭为主线。

02

切头尾

切除晶锭两端籽晶段、放肩段与尾部,选取等径有效段并按批号编号入库,实现批次全程可追溯。

03

外圆磨加工

将晶锭外圆磨削至名义直径,并在同一装夹下加工出定向参考面(flat)或定位槽(notch),保证外径与定位基准同轴,为切片装夹提供定位基准。

04

晶向检测

采用 X 射线衍射测定晶面取向(蓝宝石、碳化硅为 C 面,单晶硅为 <100> / <111> 面)及晶向偏离角(off-angle),合格后方可转切片。 <100> / <111> for monocrystalline silicon) and the off-angle; only qualified ingots proceed to slicing.

05

多线切片

金刚石线一次走丝切出全部薄片;锯缝损耗由线径决定,锯切损伤层厚度与翘曲由线张力、进给速度及冷却条件控制。

06

边缘倒角

对薄片边缘倒圆,消除微观边缘裂纹,防止后续加工与搬运中崩边,边缘轮廓严格控制在图纸公差内。

07

双面研磨

采用游离磨料双面研磨,去除锯切损伤层与表面变质层、修正翘曲,将厚度与 TTV 控制到目标范围,为抛光预留均匀余量。

08

化学机械抛光(CMP)

双面化学机械抛光,获得纳米级表面粗糙度与无亚表面损伤的超光滑表面;最终厚度在研磨阶段已锁定,本工序以表面质量为主。

09

检测包装

逐片全检厚度、TTV、翘曲与平行度、表面粗糙度(光学材料加测透过率),数据随批号存档,在洁净环境下隔层包装出厂。

质量亮点

晶向精准定向,逐片检测出厂

切片前采用 X 射线衍射确认晶向,杜绝方向偏差;成品逐片检测厚度、TTV、平整度、粗糙度及透过率,检测数据随批号存档;洁净受控环境下双层包装,随箱附合格证与检测报告。

±0.2 mm
尺寸公差,310 × 310 方片
±3 μm
厚度公差,700 / 1000 μm
<0.3 μm
抛光后表面粗糙度 Ra
0 %
出厂前逐片检测比例

X 射线定晶向

每根晶锭在切片前都验证 C 面偏离与参考边。

先测后包

厚度、TTV、平整度、粗糙度与透过率均记入批号记录。

洁净包装

在受控区域双层封装,箱内附合格证。

关于力凯

烟台力凯半导体技术有限公司

烟台力凯半导体技术有限公司(简称“力凯半导体”)系烟台力凯数控科技有限公司全资子公司,也是其切割技术向半导体材料领域的战略延伸。

公司主营半导体材料精密切片,覆盖蓝宝石、碳化硅、单晶硅、石英玻璃、氧化铝陶瓷五大类材料,并承接砷化镓、氮化镓等定制加工;拥有长晶、切片、研磨、抛光、检测完整自主产线,产品历经九道受控工序。依托金刚线多线切割与 X 射线晶向检测,蓝宝石厚度公差 ±3 μm、Ra≤0.3 μm,逐片检测、数据随批号存档,广泛应用于 LED 与光电子、功率电子、消费电子、光学与陶瓷等领域,致力于成为全球半导体材料精密切片专业服务商。

烟台力凯数控科技有限公司

烟台力凯数控科技有限公司(简称“力凯科技”)成立于 2018 年 6 月,是集装备、金刚石线、多线切割服务于一体的切割技术全产业链高新技术企业,系国家专精特新“小巨人”企业、工信部“双软”认定企业、工信部工业企业知识产权运用试点企业,专业从事硬脆材料切割设备研发、生产与销售。 公司已通过 ISO9001、ISO 14001、ISO 45001、GB/T 29490 管理体系及欧盟 CE 和UL认证;核心产品包括多线切割设备、激光切割设备、倒角设备等,广泛应用于金属材料、蓝宝石、半导体材料等硬脆材料领域,远销美国、日本、韩国、英国、新加坡、巴西、印度等十几个国家和地区,为力凯半导体提供装备、工艺与研发全方位支撑。

Yantai production site
图 01 — 烟台厂区 · 材料车间与工艺开发
厂区

从长晶到检测,全流程自有产线

公司长晶、切片、研磨、抛光与检测均集中在烟台同一厂区完成,工序衔接高效,质量管控闭环,客户可全程追溯产品在各工序的质量记录。

生产中的多线切片
切片产线
生产中的多线切片
双面研磨区
研磨与抛光
双面研磨区
搬运与边缘检查
晶片搬运
搬运与边缘检查
切片与抛光之间
在制品流转
切片与抛光之间
厚度、TTV 与平整度
检测工位
厚度、TTV 与平整度
烟台厂区航拍
烟台厂区
烟台厂区航拍
前台与展厅
总部
前台与展厅
工艺与工程团队
工艺团队
工艺与工程团队

把图纸或目标规格发给我们。

欢迎提供材料、图纸与目标公差,公司将在1个工作日内回复可行性评估;超出工艺能力的需求将如实告知,便于客户合理安排计划。