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蓝宝石 · 碳化硅 · 中国烟台

专注半导体材料精密切片,为高端制造提供可靠衬底。

公司专业从事蓝宝石、碳化硅、单晶硅、石英玻璃、氧化铝陶瓷等半导体材料的精密切片与晶圆加工,集长晶、切片、研磨、抛光、检测于一体,产品逐片检验、合格出厂,为全球客户提供高精度、高可靠性的衬底与晶圆产品。

0 英寸
蓝宝石晶锭加工能力
±2°
C 面晶向偏离公差
0 mm
方片加工能力
>5N
蓝宝石纯度(99.999%)
产品系列

五大材料体系,全流程自有产线

产品覆盖蓝宝石、碳化硅、单晶硅、石英玻璃、氧化铝陶瓷五大类,从晶体生长、精密切片、研磨抛光到检测包装全流程在同一厂区完成,实现从材料到成品的闭环质量控制。

全部规格

需要定制切片?

除标准产品外,公司承接砷化镓、氮化镓、玻璃、压电陶瓷及异形件的定制切片,客户提供图纸与目标公差即可评估,特殊材料可先试切确认再批量生产。

发送图纸
从晶锭到成品片

九道工序层层把控,铸就片片精品

依托金刚线多线切割等先进工艺,产品历经长晶、切头尾、外圆研磨、晶向检测、多线切片、研磨、倒角、抛光、检测包装九道受控工序,每道工序均留存质量记录,确保厚度一致性、平整度与表面质量稳定可靠。

质量管控
01

长晶

蓝宝石用泡生法、碳化硅用 PVT 法,晶体缺陷水平在这一步就已决定。

02

切头尾

用金刚石锯去除头尾与肩部,可用段编号入库。

03

外圆研磨

外径磨到名义尺寸,参考边或定位槽在同一次装夹中切出。

04

晶向检测

用 X 射线衍射确认 C 面或 <100> 面,确认后才开始切片。

05

多线切片

金刚石线一次切完整根晶锭,张力与进给决定锯缝与损伤层。

06

研磨

双面磨平,去除锯切损伤层,把厚度控制到目标范围。

07

倒角

边缘倒圆,避免搬运崩边,轮廓控制在图纸公差内。

08

抛光

双面化学机械抛光到最终厚度与表面粗糙度。

09

检测包装

逐片测厚度、TTV、平整度、粗糙度与透过率,然后在洁净区包装出厂。

公差

晶向精准定向,逐片检测出厂

切片前采用 X 射线衍射确认晶向,杜绝方向偏差;成品逐片检测厚度、TTV、平整度、粗糙度及透过率,检测数据随批号存档;洁净受控环境下双层包装,随箱附合格证与检测报告。

±0.2 mm
尺寸公差,310 × 310 方片
±3 μm
厚度公差,700 / 1000 μm
<0.3 μm
抛光后表面粗糙度 Ra
0 %
出厂前逐片检测比例

X 射线定晶向

每根晶锭在切片前都验证 C 面偏离与参考边。

先测后包

厚度、TTV、平整度、粗糙度与透过率均记入批号记录。

洁净包装

在受控区域双层封装,箱内附合格证。

关于力凯

烟台力凯半导体技术有限公司

烟台力凯半导体技术有限公司(简称“力凯半导体”)系烟台力凯数控科技有限公司全资子公司,也是其切割技术向半导体材料领域的战略延伸。

公司主营半导体材料精密切片,覆盖蓝宝石、碳化硅、单晶硅、石英玻璃、氧化铝陶瓷五大类材料,并承接砷化镓、氮化镓等定制加工;拥有长晶、切片、研磨、抛光、检测完整自主产线,产品历经九道受控工序。依托金刚线多线切割与 X 射线晶向检测,蓝宝石厚度公差 ±3 μm、Ra≤0.3 μm,逐片检测、数据随批号存档,广泛应用于 LED 与光电子、功率电子、消费电子、光学与陶瓷等领域,致力于成为全球半导体材料精密切片专业服务商。

Yantai production site
图 01 — 烟台厂区 · 材料车间与工艺开发
厂区

从长晶到检测,全流程自有产线

公司长晶、切片、研磨、抛光与检测均集中在烟台同一厂区完成,工序衔接高效,质量管控闭环,客户可全程追溯产品在各工序的质量记录。

生产中的多线切片
切片产线
生产中的多线切片
双面研磨区
研磨与抛光
双面研磨区
搬运与边缘检查
晶片搬运
搬运与边缘检查
切片与抛光之间
在制品流转
切片与抛光之间
厚度、TTV 与平整度
检测工位
厚度、TTV 与平整度
烟台厂区航拍
烟台厂区
烟台厂区航拍
前台与展厅
总部
前台与展厅
工艺与工程团队
工艺团队
工艺与工程团队

把图纸或目标规格发给我们。

请提供材料、尺寸、厚度与数量,我们回复可行的规格与交期;做不到的也会直说。